Физические основы кремниевой наноэлектроники

Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».

Автор: Зебрев Г. И.
Название: Физические основы кремниевой наноэлектроники: учебное пособие для вузов
Издательство: БИНОМ
Год: 2011
Страниц: 240
Формат: DJVU
Размер: 3?2 МБ
Качество: Отличное, 600дпи, текстовой слой, цветные обложки и ч/б иллюстрации