Моро У. — Микролитография. Часть 1

Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям. В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии. Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.

Автор: Моро У.
Название: Микролитография. Пер. с англ.
Издательство: Мир
Год: 1990
Страниц: 605
Формат: DJVU
Размер: 19 МБ
Качество: Отличное, 600дпи, цветные обложки и ч/б иллюстрации