Производство полупроводниковых материалов

Изложены краткие сведения об основных материалах современной электроники, строении и росте монокристаллов. Описаны базовые положения физики полупроводников, свойства и марки монокриоталлов важнейших полупроводников. Приведены данные об основных и вспомогательных материалах полупроводникового производства, процессах и технологии поли- и монокристаллических полупроводников. Рассмотрены также вопросы охраны труда и техники безопасности в производстве монокристаллов полупроводников. Второе издание (первое вышло в свет в 1982 г.) дополнено сведениями о переработке отходов производства полупроводниковых материалов, о методах контроля электрофизических параметров и структуры монокристаллов полупроводников.

Автор: Нашельский А.Я.
Название: Производство полупроводниковых материалов
Издательство: М.: Металлургия
Год: 1989
Количество страниц: 272
Формат: pdf
Размер: 4 mb